Системный подход в проектировании тестового модуля для контроля технологических процессов изготовления GaAs СВЧ МИС на примере АО «ОКБ-Планета»
Системный подход в проектировании тестового модуля для контроля технологических процессов изготовления GaAs СВЧ МИС на примере АО «ОКБ-Планета»